Podręcznik
1. Technologie wytwarzania układów scalonych
Oczywistym czynnikiem, który zadecydował o rozwoju monolitycznych układów scalonych jest miniaturyzacja urządzeń elektronicznych. Ale taka odpowiedź jest powierzchowna i niepełna, ponieważ należy zwrócić uwagę na następujące cechy układów scalonych, które z miniaturyzacją wiążą się, lecz nie zawierają się w tym terminie całkowicie:
niezawodność,
niskie koszty produkcji,
niskie koszty eksploatacji,
duża szybkość działania,
złożoność funkcjonalna.
Dla zrozumienia opisywanych w rozdziale technologii przydatne są informacje na temat wytwarzania warstw półprzewodnikowych opisane w module Podstawy mikroelektroniki - wprowadzenie.