Podręcznik

Aby móc wytworzyć dowolną strukturę układu scalonego, trzeba mieć możliwość wytworzenia obszarów domieszkowanych w półprzewodniku (z nich budowane są struktury tranzystorów i innych elementów), obszarów dielektrycznych (służą one do izolowania elementów oraz ścieżek przewodzących, które nie powinny być połączone elektrycznie) oraz obszarów przewodzących (które tworzą sieć połączeń elektrycznych między elementami układu). Zatem podstawowe operacje technologiczne w mikroelektronice to operacje wytwarzania obszarów domieszkowanych, dielektrycznych i przewodzących. Obszary te muszą mieć właściwe kształty, wymiary i położenie w układzie. Uzyskuje się to przy zastosowaniu fotolitografii oraz operacji selektywnego trawienia.